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91.
基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究   总被引:1,自引:1,他引:0  
刘红忠  丁玉成  卢秉恒  王莉 《光子学报》2006,35(10):1460-1463
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10 min内由13 nm降低到5 nm以内,满足压印光刻在100 mm行程中达到20 nm定位准确度要求.  相似文献   
92.
赖发春  林丽梅  瞿燕 《光子学报》2006,35(10):1551-1554
利用反应磁控溅射技术在BK-7基片上制备了二氧化钛和五氧化二铌均匀混合的光学薄膜.薄膜的内部微结构、表面形貌、化学成分比例以及光学性质等用X射线衍射、高分辨扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线光电子能谱和紫外可见近红外分光光度计进行研究;发现制备的薄膜为非晶结构,薄膜的表面平整、内部结构致密,不存在柱状结构或结晶颗粒的缺陷,TiO2与Nb2O5的成分比例大致是1∶1.54.从光学透射光谱计算的折射率和消光系数显示,在550 nm波长处的折射率为2.34,消光系数为2.0×10-4.结果表明制备的薄膜是TiO2和Nb2O5均匀混合的高质量光学薄膜.  相似文献   
93.
 对等衍射长度贝塞尔-高斯脉冲光束在色散介质中的时间和光谱特性作了研究,结果表明,通过选择适当的空间参数,贝塞尔-高斯脉冲光束沿轴上传输时,脉冲宽度不变。传输距离小于无衍射长度时,随衍射角增加,功率谱形状未变,脉冲波形保持不变;传输距离大于无衍射长度时,随衍射角增加,光谱由蓝移变为红移,脉冲展宽。  相似文献   
94.
Copper bromide was used as a catalyst for the addition of pyrroles to enones. When both the reactants were used in equimolar amounts, mono and dialkylated products were obtained. However, the use of excess enone furnished only dialkylated products. Thus, copper bromide was shown to be an efficient catalyst for the dialkylation of pyrroles.  相似文献   
95.
Recently, Forti, Paganoni and Smítal constructed an example of a triangular map of the unite square, F(x,y)=(f(x),g(x,y)), possessing periodic orbits of all periods and such that no infinite ω-limit set of F contains a periodic point. In this note we show that the above quoted map F has a homoclinic orbit. As a consequence, we answer in the negative the problem presented by A.N. Sharkovsky in the eighties whether, for a triangular map of the square, existence of a homoclinic orbit implies the existence of an infinite ω-limit set containing a periodic point. It is well known that, for a continuous map of the interval, the answer is positive.  相似文献   
96.
受激发射损耗荧光显微镜利用荧光饱和和激发态荧光受激损耗的非线性关系,通过限制损耗区域,可突破远场光学显微术的衍射极限分辨力并实现三维成像。基于对粒子速率方程组的修正,建立了描述荧光团各能级粒子数概率时间特性的模型,并定义了时间平均损耗效率判据。采用高斯函数模拟两束入射激光脉冲通过对模型的数值计算,模拟了激发脉冲的SIED激光脉冲的光强、脉冲宽度以及两束光的延迟时间等参量与损耗效率之间的关系,并获得了各参量的最佳值,优化了损耗效率,为提高系统分辨力提供了有效的途径。  相似文献   
97.
Σ-原子能级的理论计算与分析   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
通过对Σ-原子的理论分析,数值求解了相应的Dirac方程,得到 了一组Σ-原子的能级值,与实验数据相当吻合;其结果连同K-原子的情况支持了Batty 光学模型势在奇异原子中应用的正确性,进而表明核子间的强相互作用力为吸引力.  相似文献   
98.
We present susceptibility, microwave resistivity, NMR and heat-capacity results for Li1-xZnx(V1-yTiy)2O4 with 0 ? x ? 0.3 and 0 ? y ? 0.3. For all doping levels the susceptibility curves can be fitted with a Curie-Weiss law. The paramagnetic Curie-Weiss temperatures remain negative with an average value close to that of the pure compound Θ≈ - 36 K. Spin-glass anomalies are observed in the susceptibility, heat-capacity and NMR measurements for both type of dopants. From the temperature dependence of the spin-lattice relaxation rate we found critical-dynamic behavior in the Zn doped compounds at the freezing temperatures. For the Ti-doped samples two successive freezing transitions into disordered low-temperature states can be detected. The temperature dependence of the heat capacity for Zn-doped compounds does not resemble that of canonical spin glasses and only a small fraction of the total vanadium entropy is frozen at the spin-glass transitions. For pure LiV2O4 the spin-glass transition is completely suppressed. The temperature dependence of the heat capacity for LiV2O4 can be described using a nuclear Schottky contribution and the non-Fermi liquid model, appropriate for a system close to a spin-glass quantum critical point. Finally an ( x / y , T )-phase diagram for the low-doping regime is presented. Received 16 March 2001 and Received in final form 30 October 2001  相似文献   
99.
离子交换富集-导数火焰原子吸收法测定自来水中Cu,Fe和Zn   总被引:7,自引:0,他引:7  
本文研究了用 2 0 1× 7阳离子交换树脂对自来水中的微量元素进行交换富集 ,采用微量脉冲进样 导数火焰原子吸收法测定富集后溶液中的Cu ,Fe和Zn ,该方法灵敏度分别为 0 2 9,0 5 9和 0 0 6 μg·L- 1 ,精密度分别为 4 2 8% ,1 95 %和 2 2 8% ,检测限分别为 1 2 8,5 85和 0 6 8μg·L- 1 ,回收率分别为 91 13% ,10 1 34%和99 84 % ,本方法大大减少了需样量 ,简便快速 ,灵敏度高。  相似文献   
100.
两种方法制备ITO薄膜的红外特性分析   总被引:7,自引:1,他引:6  
比较了用电束加热蒸发法和直流磁控溅射法制备的氧化锡铟(ITO)薄膜在红外波段的光学特性实验发现,通过直流磁控溅射在常温下制备的ITO薄膜在红外波段折射率稳定、消光系数小,比电子束加热蒸发制备的膜有较高的透过率在波长1550nm附近的透过率可达86%以上,消光系数约为004,方电阻最低为100Ω/□.  相似文献   
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